無塵干燥箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵干燥箱在市場中受到廣大的注意和關注也是和它的技術優勢密不可分,下面為具體技術特點:
1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到較佳溫度控制精度。
無塵干燥箱包含鈑金箱體、加熱系統、熱風循環系統,溫度控制系統、過濾系統、充氮系統、安全保護系統。采用先進的鈑金焊接加工技術,結合工業級智能精密控溫技術,采用環保節能設計,進口耐高溫過濾器,設備密封性好、機械強度高、高潔凈度、易操控、高穩定性、安全性,符合審美觀的標準化整體式結構箱體;具有操作簡便、控制系統自動化程度高、系統運行穩定、無故障運行時間長等優點,產品達到*水平。